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Un microscope électronique à balayage (MEB) est un instrument qui vous permet d'imager de petites structures ou des détails d'une surface avec une résolution bien meilleure qu'un microscope optique. Il fonctionne en balayant l'échantillon avec un faisceau d'électrons focalisé très fin. Lorsque les électrons frappent la surface de l'échantillon, ils génèrent un certain nombre de «signaux» qui peuvent être détectés avec des détecteurs appropriés au microscope et sont utilisés pour déterminer certaines propriétés de l'échantillon, y compris une image de la surface. Ces signaux comprennent des électrons secondaires, des électrons rétrodiffusés et des rayons X.

Un système de rayons X à dispersion d'énergie (EDS ou EDX) est une fixation facultative au SEM qui capte les rayons X émis par l'échantillon et affiche les pics de rayons X correspondant aux éléments présents dans la partie irradiée de l'échantillon comme un spectre. (Le spectre est un graphique de l'intensité des rayons X en fonction de l'énergie des rayons X.) «Énergique dispersif» fait référence au fait qu'une gamme d'énergies des rayons X peut être mesurée et affichée simultanément. Le système EDX se compose essentiellement d'un détecteur de rayons X, d'un processeur d'impulsions et d'un analyseur multicanal, et d'un ordinateur pour afficher et effectuer des calculs sur le spectre. Le système EDX peut avoir d'autres fonctions telles que les balayages linéaires et la cartographie des rayons X, mais il est essentiellement là pour détecter les rayons X de l'échantillon, qui vous indique quels éléments sont présents et quelles sont leurs concentrations.

Ainsi, le SEM est l'instrument optique électronique de base qui vous permet de faire l'imagerie, et le système EDX est une fixation facultative au SEM qui vous permet de déterminer les éléments qui sont présents dans votre échantillon. Un système EDX ajoute un peu au coût d'un SEM mais est un ajout très utile.